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测量参数
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测量范围
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重复性
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复现性
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曲率半径(mm)
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3~∞
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±0.01
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±0.02
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光纤高度(nm)
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-2000~+2000
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±1.0
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±2.0
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顶点偏移(μm)
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0~500
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±0.5
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±1.5
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APC角度(°)
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0~12
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±0.01
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±0.02
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键度误差(°)
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±1
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±0.01
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±0.02
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